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今天是2022年1月26日 星期三,歡迎光臨本站 


管式爐(CVD管式爐)

1100滑軌式管式爐

文字:[大][中][小] 手機頁面二維碼 2019-12-28     瀏覽次數:    

FGLRTP系列滑軌式管式爐(T max 1100)

   滑軌式管式爐一體化結構設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求,通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度,然后移動到樣品處,達到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

特點

1、工作溫度RT1000℃。

2、智能程序控溫儀控制精準,可編輯、儲存并調用多段程序。

3、采用陶瓷纖維FEC加熱模塊,電阻絲內嵌式環繞加熱。

4、爐殼結構,雙層爐殼風冷結構。

5、不銹鋼雙層密封法蘭,進、出氣美標針閥。

6、兩端可調節式法蘭支撐結構,延長石英管的使用壽命。

7、溫度過高保護功能,當溫度超過允許設定值自動斷電。

8、安全保護當爐體漏電時自動斷電。

 

額外選配    爐內測量系統(氧含量檢測系統、溫度檢測系統);

真空系統(旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組);

氣氛系統(浮子流量計、質量流量計);

監控系統:(溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控);

           注:選件需配置拓展柜體;

技術參數

 

設備型號

設計溫度

管徑

加熱區

溫區數

熱電偶

電壓

功率

FGL(RTP)-40/11/1

1100

40mm

320 mm

1

K

220V

 

 

3.0KW

FGL(RTP)-50/11/1

1100

50mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-60/11/1

1100

60mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-80/11/1

1100

80mm

320 mm

1

K

220V

注:給出的最高溫度為工作管外測定,其它溫區個數和加熱區長度可根據客戶工藝要求定制。



網址: www.shcddt.com

銷售熱線:0551-6899 8684,139 6671 8548 方先生

郵箱: sales@facerom.com




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